[1] 李卫,方玉明,郭宇锋,等.集成电路系列课程虚拟仿真实验教学研究[J].实验科学与技术,2017,15(2):74-76,99. [2] 朱俊,樊国梁,王延来,等.集成电路虚拟仿真实验教学平台的设计[J].集成电路应用,2024,41(7):54-57. [3] 汪家奇,刘勐,申人升,等.“集成电路工艺”虚拟实践平台建设与教学实践[J].实验室科学,2023,26(1):111-114. [4] 赵巍胜,张博宇,彭守仲.自旋电子科学与技术[M].北京:人民邮电出版社,2022. [5] 兰馗博,赵毅强,张宁,等.集成电路光刻工艺虚拟仿真实验教学建设[J].实验室科学,2021,24(4):145-148,153. [6] 余星雨. 自旋电子学研究的现状与趋势简谈[J].大众标准化,2021(18):105-107. [7] 刘海涛,方衡,林智,等.集成电路工艺制程虚拟仿真实验设计[J].自动化应用,2024,65(10):209-211,214. [8] 赵芳,孙越,李阳,等.集成电路虚拟仿真实验室建设方案设计[J].科技与创新,2023(15):39-41. [9] 钟英辉,杨洁,马刘红,等.浅谈集成电路人才培养模式改革[J].电气电子教学学报,2021,43(2):1-3. [10] 王恺. 集成电路光刻工艺研究[J].山东工业技术, 2016(24):12. [11] 张梦然. 新型材料工艺刻蚀高性能微芯片[J].电子质量,2025(9):73. [12] 任敏,陈培毅,邓宁.纳米尺度自旋转移矩器件的制备工艺[J].微纳电子技术,2011,48(11):685-688,701. [13] 李强. 集成电路芯片制造技术与工艺分析[J].数字技术与应用,2023,41(12):46-48. [14] 陈卉,张华斌,陈李胜,等.集成电路虚拟仿真创新实践平台建设[J].电气电子教学学报,2022,44(5):139-142. |