基于CVD反应器虚拟仿真系统的实验教学研究

基于CVD反应器虚拟仿真系统的实验教学研究

胡露露, 代巧, 姜学艳, 孙志英, 顾付伟

Experimental Teaching Research Based on CVD Reactor Virtual Simulation System

HU Lulu, DAI Qiao, JIANG Xueyan, SUN Zhiying, GU Fuwei

创新创业理论研究与实践 . 2024, (21): 37 -40 .